元素百科资讯频道：本文主要探讨基础化工材料——高纯试剂。

高纯试剂（Ultra -clean and High -purityReagents） 是超大规模集成电路（即“芯片”） 制作过程中的关键基础化工材料之一。

高纯试剂主要用于芯片的清洗、蚀刻， 另外高纯试剂还用于芯片掺杂和沉淀工艺。

依照高纯试剂的用途，可以将其划分为光刻胶配套试剂、湿法蚀刻剂和湿法工艺试剂；

如果依其性质可以分为： 无机酸类（如盐酸、硝酸、硫酸、氢氟酸、磷酸等）、无机碱类（如氨水等）、有机溶剂类（如无水乙醇、冰乙酸、三氯乙烯、丙酮等） 和其他高纯试剂（如双氧水、氟化氢铵等）。

高纯试剂目前国内需求量达25万t/a，其中超净高纯试剂达7.1万t/a，高档产品绝大部分依赖进口。

预计2015 年，我国国内对高纯试剂的需求量将达30万t／a以上，超净高纯试剂约15万t/a左右。

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