元素百科资讯频道:本文主要探讨光刻胶材料。
电子化学材料是化工新材料的重要分支, 一般泛指电子工业使用的专用化工材料产品,按用途可分成集成电路用电子化学材料、平板显示器用电子化学材料、印制电路板用电子化学材料、新能源电池用电子化学材料等大类。集成电路用电子化学材料的代表产品主要有:光刻胶、高纯试剂、封装材料。
光刻胶是指通过紫外光(UV)、电子束(EB)、准分子激光束(KrF 248 nm 和ArF 193 nm)、X射线、离子束等照射或辐射, 其溶解度发生变化的耐蚀刻薄膜材料。
经曝光、显影后其溶解度增加的是正型光刻胶, 溶解度减小的是负型光刻胶。
按曝光光源和辐射源的不同, 又分为紫外光刻胶(包括紫外正型光刻胶、紫外负型光刻胶)、深紫外光刻胶、电子束胶、X 射线胶和离子束胶等。
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