化学词典为您介绍化学气相反应法和化学气相凝聚法制备纳米材料。化学气相反应法和化学气相凝聚法可以制备纳米材料，以下是详细介绍。

化学气相反应法

化学气相反应法又称化学气相沉积法（Chemical Vapor Deposi tion ， 简称CVD）， 是利用金属化合物的蒸汽， 通过化学反应生成所需要的化合物， 在保护气体环境下快速冷凝， 从而制备各类物质的纳米微粒。所制备的纳米微粒具有反应活性高、工艺可控和过程连续等优点， 可广泛应用于特殊复合材料、原子能反应堆材料、刀具和微电子材料等领域。

自20 世纪80 年代起， CVD 技术开始用于粉状、块状材料和纤维等的制备。

为了使化学反应发生， 还必须活化反应物系分子， 一般利用加热和射线辐照方式来进行。因此又出现了热管炉加热化学气相反应法、激光诱导化学气相反应法（LICVD）和等离子加强化学气相反应法。

化学气相凝聚法

1994 年Chang W 等提出了一种新型的纳米微粒合成技术——化学气相凝聚技术， 简称CVC法。它是利用气态原料在气相中通过化学反应形成基本粒子并进行冷凝合成纳米微粒。利用高纯惰性气体作为载气， 携带金属有机前驱体（如六甲基二硅烷等）进入钼丝炉， 炉温为1 100 ～ 1400 ℃， 气氛的压力保持在100 ～ 1 000 Pa 的低压状态下。

在此环境下原料热解成团镞， 进而凝聚成纳米粒子， 最后附着在内部充满液氮的转动衬底上， 经刮刀刮下进入纳米粉收集器。采用该方法已成功地合成了碳化硅、氮化硅、二氧化锆和二氧化钛等纳米微粒。

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