化工资讯
当前位置:元素商城  >  化工资讯网  >   新材料资讯   >  单晶硅生产工艺及用途
单晶硅生产工艺及用途
2016-07-26 10:28:15来源:元素商城

化学词典告诉你单晶硅生产工艺及用途,单晶硅是一种良好的半导材料,具有基本完整的点阵结构的晶体。单晶硅不同的方向具有不同的性质,用于制造半导体器件、太阳能电池等。

 单晶硅生产工艺及用途

单晶硅生产工艺

加料—→熔化—→缩颈生长—→放肩生长—→等径生长—→尾部生长

(1)加料:将多晶硅原料及杂质放入石英坩埚内,杂质的种类依电阻的N或P型而定。杂质种类有硼,磷,锑,砷。

(2)熔化:加完多晶硅原料于石英埚内后,长晶炉必须关闭并抽成真空后充入高纯氩气使之维持一定压力范围内,然后打开石墨加热器电源,加热至熔化温度(1420℃)以上,将多晶硅原料熔化。

(3)缩颈生长:当硅熔体的温度稳定之后,将籽晶慢慢浸入硅熔体中。由于籽晶与硅熔体场接触时的热应力,会使籽晶产生位错,这些位错必须利用缩颈生长使之消失掉。缩颈生长是将籽晶快速向上提升,使长出的籽晶的直径缩小到一定大小(4-6mm)由于位错线与生长轴成一个交角,只要缩颈够长,位错便能长出晶体表面,产生零位错的晶体。

(4)放肩生长:长完细颈之后,须降低温度与拉速,使得晶体的直径渐渐增大到所需的大小。

(5)等径生长:长完细颈和肩部之后,借着拉速与温度的不断调整,可使晶棒直径维持在正负2mm之间,这段直径固定的部分即称为等径部分。单晶硅片取自于等径部分。

(6)尾部生长:在长完等径部分之后,如果立刻将晶棒与液面分开,那么热应力将使得晶棒出现位错与滑移线。于是为了避免此问题的发生,必须将晶棒的直径慢慢缩小,直到成一尖点而与液面分开。这一过程称之为尾部生长。长完的晶棒被升至上炉室冷却一段时间后取出,即完成一次生长周期。

单晶硅的用途

单晶硅主要用于制作半导体元件。

用途:是制造半导体硅器件的原料,用于制大功率整流器、大功率晶体管、二极管、开关器件等。

单晶硅圆片按其直径分为6英寸、8英寸、12英寸(300毫米)及18英寸(450毫米)等。直径越大的圆片,所能刻制的集成电路越多,芯片的成本也就越低。但大尺寸晶片对材料和技术的要求也越高。单晶硅按晶体伸长方法的不同,分为直拉法(CZ)、区熔法(FZ)和外延法。直拉法、区熔法伸长单晶硅棒材,外延法伸长单晶硅薄膜。直拉法伸长的单晶硅主要用于半导体集成电路、二极管、外延片衬底、太阳能电池。晶体直径可控制在Φ3~8英寸。区熔法单晶主要用于高压大功率可控整流器件领域,广泛用于大功率输变电、电力机车、整流、变频、机电一体化、节能灯、电视机等系列产品。晶体直径可控制在Φ3~6英寸。外延片主要用于集成电路领域。

由于成本和性能的原因,直拉法(CZ)单晶硅材料应用最广。在IC工业中所用的材料主要是CZ抛光片和外延片。存储器电路通常使用CZ抛光片,因成本较低。逻辑电路一般使用价格较高的外延片,因其在IC制造中有更好的适用性并具有消除Latch-up的能力。

硅片直径越大,技术要求越高,越有市场前景,价值也就越高。

您可能感兴趣的中国化工网栏目: 化学试剂化学元素化学元素周期表CAS查询
元素商城微信公众号
「一个有逼格的公众号」
相关标签: 原料试剂  
相关专题: 化学试剂
相关阅读:
●  氧化镁分类和用途
化学词典为您介绍氧化镁的分类以及用途,氧化镁俗称苦土,也称镁氧,属于胶凝材料。化学式MgO,一般溶于酸和铵盐难溶于水,其溶液呈碱性。常温下为一种白色固体。氧化镁以方镁石形式存在于自然界中,是冶镁的原料。 氧化镁分类 分轻质氧化镁和重质氧化镁两种。轻质体积疏松,为白色无定形粉末。无臭无味无毒。密度3.58g/cm3。难溶于纯水及有机溶剂,在水中溶解度因二氧化碳的存在而增大。能溶于酸......
●  《德国应用化学》:对苯二甲酸二乙酯合成新路线研究取得新进展
元素百科为您介绍:中科院大连化物所生物能源研究部有机催化研究组徐杰研究员和路芳研究员带领团队在对苯二甲酸二乙酯合成新路线的研究中取得新进展,该合成新路线以生物质基粘康酸为原料,经与乙醇和乙烯发生连续的酯化反应、Diels-Alder反应以及脱氢反应,直接合成对苯二甲酸二乙酯。相关研究结果发表在《德国应用化学》上。 对苯二甲酸应用 对苯二甲酸(PTA)是需求量大的石化产品,主要用于......
●  丁腈手套和乳胶手套的区别是什么,有哪些优缺点?
化学词典为您介绍丁腈手套和乳胶手套的区别,众所周知,丁腈手套和乳胶手套在电子加工、机械加工、食品加工等行业被广泛应用,因为都是一次性使用的手套,很多人在购买手套的时候,不知道应该如何选购,下面就来针对这两款手套,分别介绍一下它们之间的区别。 丁腈手套和乳胶手套的优缺点 丁腈手套 材质:NBR,丁腈手套一种合成橡胶,主要成分为丙烯腈和丁二烯  优点:无过敏,可降解......
热门标签
优惠促销
热销推荐
一次性乳胶手套(标准型)
¥330.00
热销 1712 

您确定要从购物车中移除吗???