化学词典为您介绍：四氟化碳的应用和毒性。四氟化碳的CAS号为75-73-0，中文别名为：四氟甲烷，英文名称为：carbon tetrafluoride，英文别名为：Tetrafluoromethane。四氟化碳的分子式为：CF4，分子量为：88。四氟化碳用于各种集成电路的等离子刻蚀工艺，也用作激光气体及制冷剂。

四氟化碳的应用

四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体，其高纯气及四氟化碳高纯气配高纯氧气的混合体，可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及钨薄膜材料的蚀刻。对于硅和二氧化硅体系，采用CF4-H2反应离子刻蚀时，通过调节两种气体的比例，可以获得45：1的选择性，这在刻蚀多晶硅栅极上的二氧化硅薄膜时很有用。

四氟化碳在电子器件表面清洗、太阳能电池的生产、激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态、印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用。

由于化学稳定性极强，四氟化碳还可以用于金属冶炼和塑料行业等。

四氟化碳的溶氧性很好，因此被科学家用于超深度潜水实验代替普通压缩空气。目前已在老鼠身上获得成功，在275米到366米的深度内，小白鼠仍可安全脱险。

四氟化碳的毒性

吸入四氟化碳的后果与浓度有关，包括头痛、恶心、头昏眼花及心血管系统的破坏（主要是心脏）。长时间接触会导致严重的心脏破坏。

四氟化碳的密度比较高，可以填满地面空间范围，在不通风的地方会导致窒息。（编辑：YD）

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