化学词典为您介绍溅射法制备纳米材料。利用两块金属板分别作阳极和阴极， 阴极为蒸发用的材料， 在两极内充入氩气（40 ～ 250 Pa），两极内施加的电压为0.3 ～ 1.5 kV 。

由于两电极间的辉光放电使氩离子形成， 在电场的作用下氩离子冲击阴极靶材表面， 使靶材原子从其表面蒸发出来形成超微粒子， 并在附着面上沉积下来。

粒子的大小及尺寸分布主要取决于两电极间的电压、电流和气体压力。靶材的表面积越大， 原子的蒸发速率越大， 超微粒子的获得量越多。

采用溅射法制备纳米微粒具有以下优点:

（1）适用面广， 可制备低熔点和高熔点纳米金属；

（2）可制备多组元的化合物纳米微粒， 如二氧化锆等；

（3）通过加大被溅射的阴极表面， 可提高纳米微粒的获得量。

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