化学词典为您介绍化学气相法制备纳米材料。化学气相法利用挥发性金属化合物蒸气的化学反应来合成所需粉末，是典型的气相法。适用氧化物和非氧化物粉末的制备。

其主要特点有：产物纯度高，粒度可控，粒度分布均匀且窄，无团聚。但设备投资大、能耗高、制粉成本高。

化学气相法制备纳米材料

化学气相法可分为：

（1）化学气相沉积法（CVD） 原料以气体方式在气相中发生化学反应形成化合物微料。普通 CVD 法获得的粉末一般较粗，颗粒存在再团聚和烧结现象。

而等离子体增强的化学气相沉积法是利用等离子体产生的超高温激发气体发生反应，同时利用等离子体高温区与其周围环境形成的巨大温度梯度，通过急冷获得纳微粒。

如日本的新原皑一应用此法制备了Si3N4/SiC 纳米复合粉末。利用该方法制备的粉末粒度可控，粒度分布均匀，无团聚，但成本较高，不适合工业化大规模生产。

（2）气相分解法一般是以金属有机物为原料，通过气相状态下的热分解而制得纳米粉末。例如以Zr（OC4H9）。为原料，经气相分解合成ZrO2 纳米粉末。但是，金属有机物原料成本较高。

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